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これで半導体のすべてがわかる! (ビジネスマン教科書)

半導体製造装置用語辞典

図解 半導体業界ハンドブック (「図解業界ハンドブック」シリーズ)

はじめての半導体製造装置 (ビギナーズブックス)

図解入門 よくわかる最新半導体の基本と仕組み―半導体/LSIテクノロジー入門 (How‐nual Visual Guide Book)

半導体全工程の概要を掴む一冊　　（2007-06-08）
なかなかの良書であると思う。本書を読めば、半導体の前工程から後工程に至る全工程の概要が掴めるようになるでしょう。もちろん、全180ページほどの本書で、全ての工程の詳細を知るのは無理があるので、内容は広く浅くといった感じにはなるが。
本書の流れは、初めに全工程を大雑把に解説する。その後、各工程で使われる装置ついて、少し詳細な解説に入る。正直、本書を読んだだけでは、理解できないような記述も多々あると思うが、ネットで調べるなり、他の本を参照するなりすれば、容易に読み進めることができるレベルだと思う。
半導体の全工程が書かれた本は貴重だと思う。大まかにどんな風に半導体が造られているのか知るには、良い一冊だと思います。

半導体製造の最新技術が満載　　（2007-04-14）
半導体製造装置というのは、実にマイナーな産業機器ですが、中身は最先端の技術が満載です。
そのため、今まであまり一般向けの書籍がなかったのですが最近発売された本書は、装置の説明から半導体製造工程をわかりやすく解説しています。
半導体に興味のある方、将来この業界で働きたい学生、実務に従事する社会人の方々に是非お勧めいたします。